目前,中国大陆能够全方位掌握12英寸电子级硅晶体生长炉(设备)、晶体生长控制系统(软件)和12英寸硅晶体生长技术(工艺)等全套技术工艺的仅本公司一家。技术成果已经申请国家 19项,成果形成的产品有4项:
(1)12-16英寸电子级单晶硅棒;
(2)12-16英寸电子级硅晶体生长炉(是国外同类产品价格的七分之一);
(3)全自动硅晶体生长控制系统;
(4)12英寸电子级硅抛光片(需等到二期上线)。
值得重点突出汇报的是:目前,我们已经拿到国内某12英寸晶圆厂(19nm制程)所需3个规格硅片的参数,通过内部实验测试对比,有2个规格的硅片参数完全满足,另有1个规格的硅片尚有两个参数需要进一步送样到国外检测。如果这两个参数检测通过,意味着我们的12英寸硅片将满足19nm晶圆制程的需要(满足韩国三星、美国格罗方德等主流芯片工艺的需求)。