目前,中國大陸能夠全方位掌握12英吋電子級硅晶體生長爐(設備)、晶體生長控制系統(軟件)和12英吋硅晶體生長技術(工藝)等全套技術工藝的僅本公司一家。技術成果已經申請國家 19項,成果形成的產品有4項:
(1)12-16英吋電子級單晶硅棒;
(2)12-16英吋電子級硅晶體生長爐(是國外同類產品價格的七分之一);
(3)全自動硅晶體生長控制系統;
(4)12英吋電子級硅拋光片(需等到二期上線)。
值得重點突出彙報的是:目前,我們已經拿到國內某12英吋晶圓廠(19nm製程)所需3個規格硅片的參數,通過內部實驗測試對比,有2個規格的硅片參數完全滿足,另有1個規格的硅片尚有兩個參數需要進一步送樣到國外檢測。如果這兩個參數檢測通過,意味着我們的12英吋硅片將滿足19nm晶圓製程的需要(滿足韓國三星、美國格羅方德等主流芯片工藝的需求)。