重掺杂单晶的制备技术的高低主要体现在单晶电阻率均匀性的控制、内在缺陷的控制上以及制造成本上,目前虽然国内也有在生产重掺单晶,但在单晶轴向电阻率的均匀性的控制方面还不是非常好,造成其单晶的收率比较低,这样单晶的单位成本就会比较高, 易芯半导体在这一技术上有自己独到的工艺,由此极大的降低了单晶的单位成本。
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